X-ray metrology in semiconductor manufacturing

著者

• Bowen, D. Keith (David Keith)
• Tanner, B. K. (Brian Keith)

書誌事項

X-ray metrology in semiconductor manufacturing

D. Keith Bowen, Brian K. Tanner

CRC/Taylor & Francis, 2006

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA87337459
• ISBN:
  • 0849339286
• LCCN: 2005052196
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Boca Raton
• ページ数/冊数: 279 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : TK7874.58
  • DC22 : 621.3815/2
• 件名:
  • LCSH : Semiconductors -- Design and construction -- Quality control
  • LCSH : Integrated circuits -- Measurement
  • LCSH : Semiconductor wafers -- Inspection
  • LCSH : X-rays -- Diffraction
  • LCSH : Fluroscopy