触媒CVD(Cat-CVD)の新展開 : ラジカルを用いる新プロセス技術
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触媒CVD(Cat-CVD)の新展開 : ラジカルを用いる新プロセス技術
シーエムシー出版, 2008.10
- Other Title
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Recent developments of catalytic CVD (hot-wire CVD) : a new radical-based processing technology
エレクトロニクスシリーズ
触媒CVDCat-CVDの新展開 : ラジカルを用いる新プロセス技術
- Title Transcription
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ショクバイ CVD (CAT - CVD) ノ シン テンカイ : ラジカル オ モチイル シン プロセス ギジュツ
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シリーズ名「エレクトロニクスシリーズ」はカバーによる
Description and Table of Contents
Table of Contents
- 総論 Ｃａｔ‐ＣＶＤ法の誕生、期待とその課題（Ｃａｔ‐ＣＶＤ法の誕生；Ｃａｔ‐ＣＶＤ膜の特徴 ほか）
- 第１章 基礎編（低温成膜の物理とＣａｔ‐ＣＶＤ—フィラメント表面での化学反応の評価；気相中のラジカル種の定量 ほか）
- 第２章 Ｃａｔ‐ＣＶＤ装置（大型Ｃａｔ‐ＣＶＤ装置；簡易型Ｃａｔ‐ＣＶＤ装置 ほか）
- 第３章 応用編（ＳｉＮ—ＬＳＩトランジスターへの応用；レジストエッチング—水素ラジカルによるレジスト除去 ほか）
- 第４章 材料各論（アモルファスおよび微結晶Ｓｉ；エピタキシャルＳｉＣ ほか）
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