MEMSの技術動向

著者

• 東レリサーチセンター トウレ リサーチ センター

書誌事項

MEMSの技術動向

東レリサーチセンター調査研究部制作

（TRC R&D library）

東レリサーチセンター, 2008.9

タイトル読み

MEMS ノ ギジュツ ドウコウ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA87663270
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 14, 510p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BN03390472