MEMSの技術動向

Author(s)

• 東レリサーチセンター トウレ リサーチ センター

Bibliographic Information

MEMSの技術動向

東レリサーチセンター調査研究部制作

（TRC R&D library）

東レリサーチセンター, 2008.9

Title Transcription

MEMS ノ ギジュツ ドウコウ

Details

• NCID: BA87663270
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 14, 510p
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BN03390472