フィールドガイドオプティカルリソグラフィー

Author(s)

• Mack, Chris A.
• 木下, 博雄 キノシタ, ヒロオ

Bibliographic Information

フィールドガイドオプティカルリソグラフィー

Chris A.Mack著 ; 木下博雄訳

（SPIEフィールドガイド / John E.Greivenkamp, シリーズエディター）

オプトロニクス社, 2008.9

Other Title

Field guide to optical lithography

オプティカルリソグラフィー

Title Transcription

フィールド ガイド オプティカル リソグラフィー

Note

原著(Bellingham, Wash. : SPIE, c2006)の翻訳

Details

• NCID: BA87772822
• ISBN:
  • 9784902312331
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Original Language Code: eng
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: xii, 133p
• Size: 21cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.7
  • NDC9 : 549.7
• Subject Headings:
  • BSH : リソグラフィー
• Parent Bibliography ID:
  • BA87289924