Microelectronics fabrication equipment 1966-67

著者

• Dummer, G. W. A. (Geoffrey William Arnold)
• Robertson, J. Mackenzie

書誌事項

Microelectronics fabrication equipment 1966-67

edited by G.W.A. Dummer and J. Mackenzie Robertson

Pergamon Press, c1966

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA87873400
• LCCN: 66012955
• 出版国コード: uk
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Oxford
• ページ数/冊数: xi, 531 p.
• 大きさ: 28 cm