酸化シリコン超薄膜/シリコン界面での単一界面トラップ準位のAFMによる実空間観察/ 研究代表者長谷川幸雄
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酸化シリコン超薄膜/シリコン界面での単一界面トラップ準位のAFMによる実空間観察/ 研究代表者長谷川幸雄
長谷川幸雄, 2002.3
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平成12年度〜平成13年度科学研究費補助金(萌芽的研究)研究成果報告書
文部省科学研究費補助金(萌芽的研究)研究成果報告書
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サンカ シリコン チョウ ハクマク シリコン カイメン デノ タンイツ カイメン トラップ ジュンイ ノ AFM ニヨル ジツクウカン カンサツ
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Note
研究分担者:三木一司, 江口豊明
課題番号:12875059
研究代表者の所属:東京大学物性研究所