Ion implantation : science and technology

著者

• Ziegler, J. F.

書誌事項

Ion implantation : science and technology

edited by James Ziegler

Ion Implantation Technology Co., c2008

注記

"2008"--Spine

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA88269820
• ISBN:
  • 0965420744
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Edgewater
• ページ数/冊数: 1 v. (various paging)
• 大きさ: 28 cm
• 件名:
  • LCSH : Ion implantation