Reliability of MEMS

著者

• Tsuchiya, Toshiyuki
• Tabata, Osamu

書誌事項

Reliability of MEMS

edited by Osamu Tabata and Toshiyuki Tsuchiya

（Advanced micro & nanosystems, v.6）

Wiley-VCH, c2008

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA88629289
• ISBN:
  • 9783527314942
• LCCN: 2008459617
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Weinheim
• ページ数/冊数: xx, 303 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : TK7875
  • DC22 : 621
• 件名:
  • LCSH : Microelectromechanical systems -- Reliability
• 親書誌ID:
  • BA70371204