LIGA and its applications

著者

• Saile, Volker

書誌事項

LIGA and its applications

edited by Volker Saile ... [et al.]

（Advanced micro & nanosystems, v.7）

Wiley-VCH, c2009

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA88629471
• ISBN:
  • 9783527316984
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Weinheim
• ページ数/冊数: x, 479 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • DC22 : 621.381
• 件名:
  • LCSH : Microelectromechanical systems
  • LCSH : Microtechnology
• 親書誌ID:
  • BA70371204