半導体技術の進化 : イノベーションから実用化まで

著者

• 戸所, 義博 トドコロ, ヨシヒロ

書誌事項

半導体技術の進化 : イノベーションから実用化まで

戸所義博編著

日本半導体製造装置協会, 2008.6

タイトル読み

ハンドウタイ ギジュツ ノ シンカ : イノベーション カラ ジツヨウカ マデ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA8878469X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 275p
• 大きさ: 21cm
• 付属資料: CD-ROM1枚
• 分類:
  • NDC9 : 549.8