超臨界プラズマクラスタ流体を用いた革新的な材料表面加工テクノロジーの創製
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超臨界プラズマクラスタ流体を用いた革新的な材料表面加工テクノロジーの創製
寺嶋和夫, 2007.5
- タイトル別名
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平成17〜18年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書
文部科学省科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書
- タイトル読み
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チョウリンカイ プラズマクラスタ リュウタイ オ モチイタ カクシンテキナ ザイリョウ ヒョウメン カコウ テクノロジー ノ ソウセイ
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注記
課題番号: 17360349
研究分担者: 越崎直人