広範囲(100mm角)・微細(100nm幅)形状のための金型転写技術の開発

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広範囲(100mm角)・微細(100nm幅)形状のための金型転写技術の開発

研究代表者 中尾政之

中尾政之, 2007.5

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平成17年度〜平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(A))研究成果報告書

文部科学省科学研究費補助金(基盤研究(A))研究成果報告書

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コウハンイ 100mmカク ビサイ 100nmハバ ケイジョウ ノ タメ ノ カナガタ テンシャ ギジュツ ノ カイハツ

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Note

課題番号: 17206012

研究分担者: 濱口哲也, 土屋健介, 森田昇

Details

  • NCID
    BA88875183
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [東京]
  • Pages/Volumes
    80枚
  • Size
    30cm
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