広範囲(100mm角)・微細(100nm幅)形状のための金型転写技術の開発
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書誌事項
広範囲(100mm角)・微細(100nm幅)形状のための金型転写技術の開発
中尾政之, 2007.5
- タイトル別名
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平成17年度〜平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(A))研究成果報告書
文部科学省科学研究費補助金(基盤研究(A))研究成果報告書
- タイトル読み
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コウハンイ 100mmカク ビサイ 100nmハバ ケイジョウ ノ タメ ノ カナガタ テンシャ ギジュツ ノ カイハツ
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注記
課題番号: 17206012
研究分担者: 濱口哲也, 土屋健介, 森田昇
