広範囲(100mm角)・微細(100nm幅)形状のための金型転写技術の開発

著者

• 中尾, 政之 ナカオ, マサユキ
• 濱口, 哲也 ハマグチ, テツヤ
• 土屋, 健介 ツチヤ, ケンスケ
• 森田, 昇 モリタ, ノボル

書誌事項

広範囲(100mm角)・微細(100nm幅)形状のための金型転写技術の開発

研究代表者 中尾政之

中尾政之, 2007.5

タイトル別名

平成17年度〜平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(A))研究成果報告書

文部科学省科学研究費補助金(基盤研究(A))研究成果報告書

タイトル読み

コウハンイ 100mmカク ビサイ 100nmハバ ケイジョウ ノ タメ ノ カナガタ テンシャ ギジュツ ノ カイハツ

注記

課題番号: 17206012

研究分担者: 濱口哲也, 土屋健介, 森田昇

• NII書誌ID(NCID): BA88875183
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 80枚
• 大きさ: 30cm