ウェットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化

著者

• 松本, 克才 マツモト, カツトシ

書誌事項

ウェットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化

サイエンス&テクノロジー, 2008.7

タイトル読み

ウェット エッチング ノ メカニズム ト ショリ パラメータ ノ サイテキカ

注記

執筆: 松本克才 [ほか]

参考文献あり

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA89021070
• ISBN:
  • 9784903413471
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 223p
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC9 : 566
  • NDLC : PD41
• 件名:
  • NDLSH : 金属加工
  • NDLSH : 腐食
  • NDLSH : 印刷回路
  • NDLSH : 半導体