薄膜の機械的物性と不良対策・高品質化

著者

• 市村, 博司 イチムラ, ヒロシ

書誌事項

薄膜の機械的物性と不良対策・高品質化

サイエンス&テクノロジー, 2008.7

タイトル読み

ハクマク ノ キカイテキ ブッセイ ト フリョウ タイサク コウヒンシツカ

注記

執筆: 市村博司 [ほか]

参考文献: 各章節末

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA8902114X
• ISBN:
  • 9784903413426
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 328p, 図版[2]p
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC9 : 549.8
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • NDLSH : 薄膜
  • NDLSH : 薄膜 -- 品質管理