薄膜の機械的物性と不良対策・高品質化

Author(s)

• 市村, 博司 イチムラ, ヒロシ

Bibliographic Information

薄膜の機械的物性と不良対策・高品質化

サイエンス&テクノロジー, 2008.7

Title Transcription

ハクマク ノ キカイテキ ブッセイ ト フリョウ タイサク コウヒンシツカ

Note

執筆: 市村博司 [ほか]

参考文献: 各章節末

Details

• NCID: BA8902114X
• ISBN:
  • 9784903413426
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 328p, 図版[2]p
• Size: 27cm
• Classification:
  • NDC9 : 549.8
  • NDLC : ND371
• Subject Headings:
  • NDLSH : 薄膜
  • NDLSH : 薄膜 -- 品質管理