表面粗さのインライン全数検査を実現する高速インプロセス測定システムの開発

Author(s)

• 大橋, 一仁 オオハシ, カズヒト

Bibliographic Information

表面粗さのインライン全数検査を実現する高速インプロセス測定システムの開発

研究代表者:大橋一仁

（科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成18-19年度）

大橋一仁, 2008.5

Title Transcription

ヒョウメン アラサ ノ インライン ゼンスウ ケンサ オ ジツゲン スル コウソク インプロセス ソクテイ システム ノ カイハツ

Note

課題番号: 18560106

研究分担者: 塚本真也, 長谷川裕之

片面印刷

Details

• NCID: BA89262226
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: engjpn
• Place of Publication: [岡山]
• Pages/Volumes: 15枚
• Size: 30cm
• Classification:
  • NDC9 : 377.7
• Parent Bibliography ID:
  • BA30764121