Semiconductor manufacturing technology

著者

• Yoo, Chue San

書誌事項

Semiconductor manufacturing technology

Chue San Yoo

（Advanced series in electrical and computer engineering, v. 13）

World Scientific, c2008

注記

Includes bibliographical references (p. 453-464) and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA90114190
• ISBN:
  • 9789812568236
• LCCN: 2008299033
• 出版国コード: si
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Singapore
• ページ数/冊数: xii, 470 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871.85
  • DC22 : 621.38152
• 件名:
  • LCSH : Semiconductors -- Design and construction
  • LCSH : Semiconductor industry
• 親書誌ID:
  • BA07409286