超精密加工面性状インプロセス測定装置の試作開発

Author(s)

    • 三好, 隆志 ミヨシ, タカシ

Bibliographic Information

超精密加工面性状インプロセス測定装置の試作開発

研究代表者 三好隆志

[北海道大学工学部], 1991.3

Other Title

平成2年度科学研究費補助金(試験研究(B)(2))研究成果報告書

Title Transcription

チョウセイミツ カコウメン セイジョウ インプロセス ソクテイ ソウチ ノ シサク カイハツ

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Note

研究課題番号: 01850028

Details

  • NCID
    BA90272704
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [札幌]
  • Pages/Volumes
    55p
  • Size
    26cm
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