半導体マイクロ構造の作製と新デバイスへの展開

著者

書誌事項

半導体マイクロ構造の作製と新デバイスへの展開

総合研究奨励会[編]

（東京大学工学講座）

総合研究奨励会, [1993]

タイトル読み

ハンドウタイ マイクロ コウゾウ ノ サクセイ ト シン デバイス ヘ ノ テンカイ

注記

平成5年度東京大学工学講座: 日時・平成5年7月6日(火), 主催・総合研究奨励会, 後援・東京大学工学部, 協賛・応用物理学会

• NII書誌ID(NCID): BA9041589X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: 54p
• 大きさ: 26cm
• 親書誌ID:
  • BA9041066X