半導体自由表面の表面準位分布の非接触測定とそれにもとづく表面の工学的制御

書誌事項

半導体自由表面の表面準位分布の非接触測定とそれにもとづく表面の工学的制御

研究代表者 長谷川英機

(科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書, 平成4年度)

[北海道大学工学部], 1993.3

タイトル読み

ハンドウタイ ジユウ ヒョウメン ノ ヒョウメン ジュンイ ブンプ ノ ヒセッショク ソクテイ ト ソレ ニ モトズク ヒョウメン ノ コウガクテキ セイギョ

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注記

研究課題番号: 03452147

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA9051037X
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpneng
  • 出版地
    [札幌]
  • ページ数/冊数
    101p
  • 大きさ
    30cm
  • 親書誌ID
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