Defects in microelectronic materials and devices

著者

• Fleetwood, D. M. (Dan M.)
• Pantelides, Sokrates T.
• Schrimpf, Ronald D

書誌事項

Defects in microelectronic materials and devices

edited by Daniel M. Fleetwood, Sokrates T. Pantelides, Ronald D. Schrimpf

CRC Press, c2009

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA90642665
• ISBN:
  • 9781420043761
• LCCN: 2008018722
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Boca Raton
• ページ数/冊数: xvi, 753 p.
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871
  • DC22 : 621.381
• 件名:
  • LCSH : Microelectronics -- Materials -- Testing
  • LCSH : Metal oxide semiconductor field-effect transistors -- Testing
  • LCSH : Integrated circuits -- Defects