Interlayer dielectrics for semiconductor technologies

著者

• Murarka, S. P.
• Eizenberg, M.
• Sinha, A. K.

書誌事項

Interlayer dielectrics for semiconductor technologies

edited by S.P. Murarka, M. Eizenberg, A.K. Sinha

Elsevier/Academic Press, c2003

注記

Includes bibliographical references (p.425-[427]) and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA90698659
• ISBN:
  • 9780125112215
• 出版国コード: ne
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Amsterdam ; Boston
• ページ数/冊数: xiv, 444 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871.85
• 件名:
  • LCSH : Semiconductor wafers
  • LCSH : Dielectrics