Handbook of plasma immersion ion implantation and deposition

著者

• Anders, André

書誌事項

Handbook of plasma immersion ion implantation and deposition

edited by André Anders

Wiley-VCH, c2004

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA90712217
• ISBN:
  • 9780471246985
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Weinheim
• ページ数/冊数: xxiii, 736 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : TS695.25.
  • DC21 : 671.7
• 件名:
  • LCSH : Ion implantation
  • LCSH : Ion bombardment -- Industrial applications
  • LCSH : Plasma (Ionized gases) -- Industrial applications
  • LCSH : Metals -- Surfaces
  • LCSH : Metals -- Finishing