バリア放電エキシマランプの最適化に関する研究
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バリア放電エキシマランプの最適化に関する研究
(科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書, 平成7年度~平成8年度)
[北海道大学工学部], 1997.3
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バリア ホウデン エキシマ ランプ ノ サイテキカ ニカンスル ケンキュウ
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研究課題番号: 07558175
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