バリア放電エキシマランプの最適化に関する研究

著者

• 酒井, 洋輔 サカイ, ヨウスケ

書誌事項

バリア放電エキシマランプの最適化に関する研究

研究代表者 酒井洋輔

（科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書, 平成7年度～平成8年度）

[北海道大学工学部], 1997.3

タイトル読み

バリア ホウデン エキシマ ランプ ノ サイテキカ ニカンスル ケンキュウ

注記

研究課題番号: 07558175

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• NII書誌ID(NCID): BA90749068
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [札幌]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30195718