高分子電子線レジスト反応の基礎研究

Author(s)

• 吉田, 宏 ヨシダ, ヒロシ

Bibliographic Information

高分子電子線レジスト反応の基礎研究

研究代表者 吉田宏

（科学研究費補助金(試験研究B(2))研究成果報告書, 平成7年度～平成8年度）

[北海道大学工学部], 1997.3

Title Transcription

コウブンシ デンシセン レジスト ハンノウ ノ キソ ケンキュウ

Note

課題番号: 07455335

Details

• NCID: BA90768936
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [札幌]
• Pages/Volumes: 1冊
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BN09452958