電子励起によるガラス転移とその微細加工への応用に関する研究

著者

• 田中, 啓司 タナカ, ケイジ

書誌事項

電子励起によるガラス転移とその微細加工への応用に関する研究

研究代表者 田中啓司

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成8年度～平成9年度）

[北海道大学大学院工学研究科], 1998.3

タイトル読み

デンシ レイキ ニヨル ガラス テンイ ト ソノ ビサイ カコウ エノ オウヨウ ニカンスル ケンキュウ

注記

課題番号: 08650001

• NII書誌ID(NCID): BA90848638
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [札幌]
• ページ数/冊数: 76p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30195401