電子励起によるガラス転移とその微細加工への応用に関する研究

Author(s)

• 田中, 啓司 タナカ, ケイジ

Bibliographic Information

電子励起によるガラス転移とその微細加工への応用に関する研究

研究代表者 田中啓司

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成8年度～平成9年度）

[北海道大学大学院工学研究科], 1998.3

Title Transcription

デンシ レイキ ニヨル ガラス テンイ ト ソノ ビサイ カコウ エノ オウヨウ ニカンスル ケンキュウ

Note

課題番号: 08650001

Details

• NCID: BA90848638
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [札幌]
• Pages/Volumes: 76p
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30195401