超高真空非接触・非破壊容量-電圧測定システムの開発

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超高真空非接触・非破壊容量-電圧測定システムの開発

研究代表者 長谷川英機

[北海道大学大学院工学研究科], 1998.3

Other Title

超高真空非接触・非破壊容量-電圧測定システムの開発

平成8年度〜平成9年度科学研究費補助金(基盤研究A(2))研究成果報告書

平成8年度〜平成9年度科学研究費補助金(基盤研究A)研究成果報告書

Title Transcription

チョウコウシンクウ ヒセッショク ヒハカイ ヨウリョウ デンアツ ソクテイ システム ノ カイハツ

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Note

研究課題番号: 08555072

Details

  • NCID
    BA9088275X
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [札幌]
  • Pages/Volumes
    97p
  • Size
    30cm
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