超高真空非接触・非破壊容量-電圧測定システムの開発

Author(s)

• 長谷川, 英機 ハセガワ, ヒデキ

Bibliographic Information

超高真空非接触・非破壊容量-電圧測定システムの開発

研究代表者 長谷川英機

[北海道大学大学院工学研究科], 1998.3

Other Title

超高真空非接触・非破壊容量-電圧測定システムの開発

平成8年度〜平成9年度科学研究費補助金(基盤研究A(2))研究成果報告書

平成8年度〜平成9年度科学研究費補助金(基盤研究A)研究成果報告書

Title Transcription

チョウコウシンクウ ヒセッショク ヒハカイ ヨウリョウ デンアツ ソクテイ システム ノ カイハツ

Note

研究課題番号: 08555072

• NCID: BA9088275X
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [札幌]
• Pages/Volumes: 97p
• Size: 30cm