超高真空非接触・非破壊容量-電圧測定システムの開発

著者

• 長谷川, 英機 ハセガワ, ヒデキ

書誌事項

超高真空非接触・非破壊容量-電圧測定システムの開発

研究代表者 長谷川英機

[北海道大学大学院工学研究科], 1998.3

タイトル別名

超高真空非接触・非破壊容量-電圧測定システムの開発

平成8年度〜平成9年度科学研究費補助金(基盤研究A(2))研究成果報告書

平成8年度〜平成9年度科学研究費補助金(基盤研究A)研究成果報告書

タイトル読み

チョウコウシンクウ ヒセッショク ヒハカイ ヨウリョウ デンアツ ソクテイ システム ノ カイハツ

注記

研究課題番号: 08555072

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA9088275X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [札幌]
• ページ数/冊数: 97p
• 大きさ: 30cm