複合レーザによる多層超薄膜マイクロアクチュエータの研究

書誌事項

複合レーザによる多層超薄膜マイクロアクチュエータの研究

研究代表者 池田正幸

(科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書, 平成7年度~平成9年度)

[北海道大学工学研究科], 1998.3

タイトル別名

複合レーザによる多層超薄膜マイクロアクチュエータの研究

タイトル読み

フクゴウ レーザ ニヨル タソウ チョウハクマク マイクロ アクチュエータ ノ ケンキュウ

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注記

研究課題番号: 07405009

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA90909583
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    [札幌]
  • ページ数/冊数
    vi, 30p
  • 大きさ
    30cm
  • 親書誌ID
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