複合レーザによる多層超薄膜マイクロアクチュエータの研究

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複合レーザによる多層超薄膜マイクロアクチュエータの研究

研究代表者 池田正幸

（科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書, 平成7年度～平成9年度）

[北海道大学工学研究科], 1998.3

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複合レーザによる多層超薄膜マイクロアクチュエータの研究

Title Transcription

フクゴウ レーザ ニヨル タソウ チョウハクマク マイクロ アクチュエータ ノ ケンキュウ

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研究課題番号: 07405009

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Details

  • NCID
    BA90909583
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [札幌]
  • Pages/Volumes
    vi, 30p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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