複合レーザによる多層超薄膜マイクロアクチュエータの研究

著者

• 池田, 正幸 イケダ, マサユキ

書誌事項

複合レーザによる多層超薄膜マイクロアクチュエータの研究

研究代表者 池田正幸

（科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書, 平成7年度～平成9年度）

[北海道大学工学研究科], 1998.3

タイトル別名

複合レーザによる多層超薄膜マイクロアクチュエータの研究

タイトル読み

フクゴウ レーザ ニヨル タソウ チョウハクマク マイクロ アクチュエータ ノ ケンキュウ

注記

研究課題番号: 07405009

• NII書誌ID(NCID): BA90909583
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [札幌]
• ページ数/冊数: vi, 30p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30195718