10原子層程度の極めて薄い膜からなる多層膜の物性研究

著者

    • 廣田, 榮一 ヒロタ, エイイチ

書誌事項

10原子層程度の極めて薄い膜からなる多層膜の物性研究

研究代表者 廣田榮一

[北海道大学工学部], 1998.11

タイトル別名

平成6年度文部省科学研究費補助金(一般研究(A))研究成果報告書

タイトル読み

10 ゲンシソウ テイド ノ キワメテ ウスイ マク カラナル タソウマク ノ ブッセイ ケンキュウ

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注記

課題番号: 05402024

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA9092213X
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpneng
  • 出版地
    [札幌]
  • ページ数/冊数
    iv, 110p
  • 大きさ
    30cm
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