実用薄膜プロセス : 機能創製・応用展開

Author(s)

• 齋藤, 文良 サイトウ, フミオ
• 多賀, 康訓 タガ, ヤスノリ

Bibliographic Information

実用薄膜プロセス : 機能創製・応用展開

齋藤文良, 多賀康訓編

技術教育出版 , エヌ・ティー・エス (発売), 2009.8

Other Title

実用薄膜プロセス : 機能創製応用展開

Title Transcription

ジツヨウ ハクマク プロセス : キノウ ソウセイ・オウヨウ テンカイ

Note

文献: 各章末

Details

• NCID: BA91056919
• ISBN:
  • 9784907837181
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京,東京
• Pages/Volumes: viii, 416p
• Size: 27cm
• Classification:
  • NDC9 : 549.8
• Subject Headings:
  • NDLSH : 薄膜