三次元実装のためのTSV技術
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三次元実装のためのTSV技術
工業調査会, 2009.7
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Through silicon via
TSV技術 : 三次元実装のための
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サンジゲン ジッソウ ノ タメ ノ tsv ギジュツ
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Description and Table of Contents
Table of Contents
- 第1章 シリコン貫通電極の重要性
- 第2章 TSVの基本製作プロセス
- 第3章 TSV作成技術
- 第4章 代表的なTSV応用積層デバイス
- 第5章 シングルTSVイメージセンサ
- 第6章 シリコンTSVインターポーザ
- 第7章 TSVウエハとチップの積層
- 第8章 TSVの電気的特性と熱特性
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