はじめてのMEMS
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はじめてのMEMS
（ビギナーズブックス, 48）
工業調査会, 2009.9
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MEMS : はじめての
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ハジメテ ノ MEMS
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参考文献あり
Description and Table of Contents
Description
ＭＥＭＳ（微小機械電気システム）の応用分野が拡大している。従来の自動車のエアバッグ、情報通信機器への応用から、最近はゲーム機、製造装置、科学機器、医療福祉機器分野での採用も始まっている。本書では、入門者がＭＥＭＳの基礎から製作、要素、応用までを学べるよう解説した。
Table of Contents
- 第１章 マイクロマシーニングとＭＥＭＳ（マイクロマシーニングとＭＥＭＳ；ＭＥＭＳの歴史）
- 第２章 ＭＥＭＳの製作（パターニング；エッチング；堆積と応力制御；接合；複合プロセス；集積化；パッケージングと組立；設計・評価）
- 第３章 ＭＥＭＳの要素（センサ；アクチュエータ；エネルギー源）
- 第４章 ＭＥＭＳの応用（自動車・家電応用；情報・通信応用；製造・検査応用；医療・バイオ応用；ＭＥＭＳビジネス）
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