はじめてのMEMS

著者

• 江刺, 正喜 エサシ, マサヨシ

書誌事項

はじめてのMEMS

江刺正喜著

（ビギナーズブックス, 48）

工業調査会, 2009.9

タイトル別名

MEMS : はじめての

タイトル読み

ハジメテ ノ MEMS

注記

参考文献あり

内容説明・目次

内容説明

ＭＥＭＳ（微小機械電気システム）の応用分野が拡大している。従来の自動車のエアバッグ、情報通信機器への応用から、最近はゲーム機、製造装置、科学機器、医療福祉機器分野での採用も始まっている。本書では、入門者がＭＥＭＳの基礎から製作、要素、応用までを学べるよう解説した。

目次

• 第１章　マイクロマシーニングとＭＥＭＳ（マイクロマシーニングとＭＥＭＳ；ＭＥＭＳの歴史）
• 第２章　ＭＥＭＳの製作（パターニング；エッチング；堆積と応力制御；接合；複合プロセス；集積化；パッケージングと組立；設計・評価）
• 第３章　ＭＥＭＳの要素（センサ；アクチュエータ；エネルギー源）
• 第４章　ＭＥＭＳの応用（自動車・家電応用；情報・通信応用；製造・検査応用；医療・バイオ応用；ＭＥＭＳビジネス）

「BOOKデータベース」 より

• NII書誌ID(NCID): BA91453125
• ISBN:
  • 9784769312871
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 230p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 530
  • NDC9 : 530
• 件名:
  • BSH : マイクロマシン
• 親書誌ID:
  • BA38795526