ファセット制御技術を用いたAlGaNのエピタキシャル成長

著者

• 三宅, 秀人 ミヤケ, ヒデト

書誌事項

ファセット制御技術を用いたAlGaNのエピタキシャル成長

研究代表者 三宅秀人

（科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成18年度-19年度）

[三宅秀人], 2008.3

タイトル読み

ファセット セイギョ ギジュツ オ モチイタ AlGaN ノ エピタキシャル セイチョウ

注記

課題番号: 18560010

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB0000866X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [津]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30764121