Fundamental principles of engineering nanometrology

著者

• Leach, Richard

書誌事項

Fundamental principles of engineering nanometrology

by Richard K. Leach

（Micro & nano technologies）

William Andrew / Elsevier, 2010

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB00149515
• ISBN:
  • 9780080964546
• 出版国コード: ne
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Amsterdam
• ページ数/冊数: xxvi, 321 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • DC22 : 620.50287
• 件名:
  • LCSH : Nanotechnology
  • LCSH : Microtechnology
  • LCSH : Metrology
• 親書誌ID:
  • BA86475071