MEMS技術予測2010-2020 : 3次元実装と需要創出アプリ
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MEMS技術予測2010-2020 : 3次元実装と需要創出アプリ
日経BP社 , 日経BP出版センター(発売), 2009.11
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MEMS ギジュツ ヨソク 2010 2020 : 3ジゲン ジッソウ ト ジュヨウ ソウシュツ アプリ
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参考文献あり