マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術

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マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術

式田光宏, 佐藤一雄, 田中浩監修

シーエムシー出版, 2009.10

Other Title

新材料・新素材シリーズ

Etching for micro/nano fabrication

マイクロナノデバイスのエッチング技術

Title Transcription

マイクロ ナノデバイス ノ エッチング ギジュツ

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Note

カバージャケットに「新材料・新素材シリーズ」の表示あり

Description and Table of Contents

Table of Contents

  • ウエットエッチング編（ウエットエッチングの基礎；シリコン結晶異方性エッチングの基礎；エッチピットおよびマイクロピラミッド発生メカニズム　ほか）
  • ドライエッチング編（ドライエッチングの基礎と各種パラメータの最適化；プラズマエッチングにおける表面反応機構；シリコン深堀エッチング　ほか）
  • エッチング技術の高機能化編（ウエハ回転方式によるシリコンエッチングの高精度均一化；電圧印加による等方性および異方性の制御；多段異方性エッチングによるエッチング形状の複雑化　ほか）

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Details

  • NCID
    BB00938446
  • ISBN
    • 9784781301679
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    ix, 301p
  • Size
    27cm
  • Classification
  • Subject Headings
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