MEMSデバイス総論

著者

• 植田, 敏嗣 ウエダ, トシツグ

書誌事項

MEMSデバイス総論

植田敏嗣監修

サイエンス&テクノロジー, 2009.4

タイトル読み

MEMS デバイス ソウロン

注記

参考文献: 各章末

• NII書誌ID(NCID): BB01488742
• ISBN:
  • 9784903413655
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 301p
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC9 : 530
  • NDLC : NB21
• 件名:
  • NDLSH : マイクロマシン