MEMSデバイス総論

Author(s)
    • 植田, 敏嗣 ウエダ, トシツグ
Bibliographic Information

MEMSデバイス総論

植田敏嗣監修

サイエンス&テクノロジー, 2009.4

Title Transcription

MEMS デバイス ソウロン

Note

参考文献: 各章末

Details
  • NCID
    BB01488742
  • ISBN
    • 9784903413655
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    301p
  • Size
    27cm
  • Classification
  • Subject Headings
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