MEMSデバイス総論

Author(s)

• 植田, 敏嗣 ウエダ, トシツグ

Bibliographic Information

MEMSデバイス総論

植田敏嗣監修

サイエンス&テクノロジー, 2009.4

Title Transcription

MEMS デバイス ソウロン

Note

参考文献: 各章末

Details

• NCID: BB01488742
• ISBN:
  • 9784903413655
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 301p
• Size: 27cm
• Classification:
  • NDC9 : 530
  • NDLC : NB21
• Subject Headings:
  • NDLSH : マイクロマシン