低周波50HzプラズマCVD法によるカーボン薄膜の低温形成プロセスの開発

著者

• 下妻, 光夫 シモズマ, ミツオ

書誌事項

低周波50HzプラズマCVD法によるカーボン薄膜の低温形成プロセスの開発

研究代表者 下妻光夫

（科学研究費補助金(試験研究B(2))研究成果報告書, 平成3年度）

[北海道大学医療技術短期大学部], 1992.3

タイトル読み

テイシュウハ 50Hz プラズマ CVDホウ ニヨル カーボン ハクマク ノ テイオン ケイセイ プロセス ノ カイハツ

注記

課題番号: 02555056

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB01824012
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [札幌]
• ページ数/冊数: 155p
• 大きさ: 26cm
• 親書誌ID:
  • BN09452958