塩素・臭素系混合プラズマの気相および固体表面におけるプラズマ化学の解明と制御
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書誌事項
塩素・臭素系混合プラズマの気相および固体表面におけるプラズマ化学の解明と制御
[斧高一], 2007.5
- タイトル別名
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平成17年度～平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書 : (課題番号 17340172)
A study of plasma chemistry in the gas phase and on surfaces during plasma etching in chlorine-and bromine-containing plasmas
- タイトル読み
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エンソ シュウソケイ コンゴウ プラズマ ノ キソウ オヨビ コタイ ヒョウメン ニオケル プラズマ カガク ノ カイメイ ト セイギョ
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注記
京都大学大学院工学研究科
