VUVマイクロ加工

著者

• 杉村, 博之 スギムラ, ヒロユキ
• 京都大学大学院工学研究科 キョウト ダイガク ダイガクイン コウガク ケンキュウカ

書誌事項

VUVマイクロ加工

研究代表者 杉村博之

[杉村博之], 2008.3

タイトル別名

平成17年度～平成19年度科学研究費補助金(基盤研究(A))研究成果報告書 : (課題番号 17206073)

VUV microfabrication

タイトル読み

VUV マイクロ カコウ

注記

京都大学大学院工学研究科

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB02517799
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [京都]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm