分子層成長用流量制御システムの試作とその応用に関する研究

Author(s)

    • 倉林, 徹 クラバヤシ, トオル

Bibliographic Information

分子層成長用流量制御システムの試作とその応用に関する研究

倉林徹研究代表者

（科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書）

[倉林徹], 1998.3

Other Title

平成7-8年度科学研究費補助金(一般研究(C)(2))研究成果報告書(研究課題番号07650002)

Title Transcription

ブンシソウ セイチョウヨウ リュウリョウ セイギョ システム ノ シサク ト ソノ オウヨウ ニカンスル ケンキュウ

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Details

  • NCID
    BB02607530
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [仙台]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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