分子層成長用流量制御システムの試作とその応用に関する研究

著者

    • 倉林, 徹 クラバヤシ, トオル

書誌事項

分子層成長用流量制御システムの試作とその応用に関する研究

倉林徹研究代表者

(科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書)

[倉林徹], 1998.3

タイトル別名

平成7-8年度科学研究費補助金(一般研究(C)(2))研究成果報告書(研究課題番号07650002)

タイトル読み

ブンシソウ セイチョウヨウ リュウリョウ セイギョ システム ノ シサク ト ソノ オウヨウ ニカンスル ケンキュウ

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BB02607530
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpneng
  • 出版地
    [仙台]
  • ページ数/冊数
    1冊
  • 大きさ
    30cm
  • 親書誌ID
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